仪器状态:启用
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联系人: 蒋书森
邮 箱: hanson_jiang@xmu.edu.cn
电 话: 2185896
 
厂 家: 法国SEMCO Engineering公司
型 号: DF500-6
规 格: Minilab
 
仪器介绍:
1、适用于硅片尺寸及管路数:6英寸(150mm)及以下尺寸,三管系统。2、装片数量:25片及 以下。3、淀积膜种类:氮化硅、低应力氮化硅、多晶硅及低应力多晶硅、二氧化硅。4、淀积 膜均匀性:氮化硅3%,低应力氮化硅5%,多晶硅及低应力多晶硅3%,二氧化硅3%。
 
 
 
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