仪器状态:启用
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联系人: 郑玲玲
邮 箱: zhengll@xmu.edu.cn
电 话: 2186896
 
厂 家: 德国卡尔•蔡司股份公司 Carl Zeiss AG
型 号: SUPRA 55 SAPPHIRE
规 格:
 
仪器介绍:
1、适用于各种样品的微观形貌观察和分析,结合EDS能谱仪可进行样品微区成分定性和定量以 及元素分布分析;2、结合Raith EBL系统,可进行电子束曝光工艺。
 
 
 
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